半导体【加工&检测】
  • 半导体【加工&检测】

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加工&检测


一,用于直线运动的新型气浮轴承

提供各种非常适合直线运动应用的气浮轴承。事实上,有很多方法可以使用我们的多孔介质技术来创建无摩擦的线性运动,包括:

  • 圆形气浮轴承

  • 方形气浮轴承

  • 气浮轴套

  • 气浮轴承线性组件

  • 真空预载气浮轴承

       我们的气浮轴承可以单独使用或组合使用,以轻松集成到您当前的流程中。在设计带有气浮轴承的解决方案时,必须注意创建一种能够根据应用需求正确约束运动的布置。由于空气轴承产生一个浮动体,该体必须在空间中受到限制,以便在所需的轴上运行。通常,可以在导向表面上加入一个特征,以将运动限制在所需的轴上。还可以利用许多其他排列和布置。您将在下面找到有关这些应用程序的更多具体信息。

1.采用新型圆形气浮轴承或方形气浮轴承的直线运动

        圆形气浮轴承和方形气浮轴常备有各种常见尺寸的库存,可进行任意数量的详细布置。由于 空气轴承易于集成到已建立的系统中,因此线性运动解决方案的制造成本通常远低于现成的组件。这些空气轴承易于调整,可以获得高速度和加速度,具有快速的稳定时间,以及卓越的飞行高度控制精度。这可以实现极其一致的运动和可重复性,可根据您的需要轻松配置。

        圆形气浮轴承和方形气浮轴承漂浮在 5 微米的空气层上,产生真正的非接触式运动,几乎为零摩擦。这就要求导向面的平面度大于轴承飞行高度的50%。这并不像看起来那么困难,因为许多常见应用涉及使用花岗岩板或花岗岩块,这些板或块可从供应商处轻松获得。其他可行的表面包括硬涂层铝、陶瓷、不锈钢,甚至玻璃。因为空气轴承是非接触式的,所以它们平均了任何表面偏差,进一步改善了线性运动。此外,由于摩擦为零,运动控制分辨率几乎是无限的,因为静摩擦系数为零。

我们的圆形气浮轴承最初设计用于坐标测量机,此后已用于各种应用,例如机器人航天器模拟和圆度检查器。

2.新型真空预载空气轴承的直线运动

       我们平面空气轴承最常见的排列之一是使用真空预载轴承(VPL),尤其是在预载困难或不可能的情况下。这些扁平圆形部件使用真空来预加载轴承。通过调节真空和压力,可以优化飞行高度和刚度。结果是只需要一个平面导向表面,而不是两个平行的平面导向表面,如对置轴承预加载。

3.使用新型气浮轴套进行直线运动

       当需要在轨道式系统上实现低摩擦系数和高运动控制分辨率时,您应该考虑使用气浮轴套。这些衬套的尺寸范围从 13 毫米到 75 毫米,英制尺寸从 ¼” 到 3.00”,允许安装通用轴尺寸。由于 0.4 毫米(16 英寸)表面光洁度的轴系普遍可用,因此可以轻松创建精确的单轴直线运动。

通过使用多孔介质材质,其中有数百万个亚微米孔,并施加 60PSI (0.4 MPA) 的气压,在衬套和轴之间形成 8 µm (0.0004") 空气层。轴套的设计使气流产生自定心力,从而在圆轴上实现真正的 360° 非接触运动。围绕两个平行轴连接两个轴套可产生沿一个轴的精确运动,并消除通常与滚子接触或循环滚珠直线导轨系统相关的热量和振动。这种布置提供了微分辨率定位,允许使用导轨安装平台以前无法实现的精密应用。

4.使用新方式气浮导轨组件的线性运动

       还提供四种不同类型的标准滑轨组件,它们结合了精确的导向面和准备安装的气动滑块。这为用户提供了集成导向和轴承系统的便利。借助我们的燕尾、端部支撑和箱形滑轨,以及我们的 T形气浮导轨的线性运动导轨系统,您一定会找到适合您特定线性运动应用的导轨。这些幻灯片具有运动直线度和动态响应通常比传统的滚动轴承好一个数量级。末端支撑气浮导轨轨、燕尾滑轨和箱形滑轨提供每 25 毫米行程250 纳米的局部直线度(在 X 和 Z 方向)和每 1000 毫米行程(每码 80 微英寸)的最大全局误差 2 微米)。如需直线运动应用的进一步帮助,请参阅新方式空气轴承应用和设计指南或联系我们的应用工程师,讨论您的特定需求。


二,应用场景:

1)光学检测设备

2)三坐标

3)激光加工设备

4)半导体【加工&检测】

5)。。。。等

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一,用于直线运动的新型气浮轴承

提供各种非常适合直线运动应用的气浮轴承。事实上,有很多方法可以使用我们的多孔介质技术来创建无摩擦的线性运动,包括:

  • 圆形气浮轴承

  • 方形气浮轴承

  • 气浮轴套

  • 气浮轴承线性组件

  • 真空预载气浮轴承

       我们的气浮轴承可以单独使用或组合使用,以轻松集成到您当前的流程中。在设计带有气浮轴承的解决方案时,必须注意创建一种能够根据应用需求正确约束运动的布置。由于空气轴承产生一个浮动体,该体必须在空间中受到限制,以便在所需的轴上运行。通常,可以在导向表面上加入一个特征,以将运动限制在所需的轴上。还可以利用许多其他排列和布置。您将在下面找到有关这些应用程序的更多具体信息。

1.采用新型圆形气浮轴承或方形气浮轴承的直线运动

        圆形气浮轴承和方形气浮轴常备有各种常见尺寸的库存,可进行任意数量的详细布置。由于 空气轴承易于集成到已建立的系统中,因此线性运动解决方案的制造成本通常远低于现成的组件。这些空气轴承易于调整,可以获得高速度和加速度,具有快速的稳定时间,以及卓越的飞行高度控制精度。这可以实现极其一致的运动和可重复性,可根据您的需要轻松配置。

        圆形气浮轴承和方形气浮轴承漂浮在 5 微米的空气层上,产生真正的非接触式运动,几乎为零摩擦。这就要求导向面的平面度大于轴承飞行高度的50%。这并不像看起来那么困难,因为许多常见应用涉及使用花岗岩板或花岗岩块,这些板或块可从供应商处轻松获得。其他可行的表面包括硬涂层铝、陶瓷、不锈钢,甚至玻璃。因为空气轴承是非接触式的,所以它们平均了任何表面偏差,进一步改善了线性运动。此外,由于摩擦为零,运动控制分辨率几乎是无限的,因为静摩擦系数为零。

我们的圆形气浮轴承最初设计用于坐标测量机,此后已用于各种应用,例如机器人航天器模拟和圆度检查器。

2.新型真空预载空气轴承的直线运动

       我们平面空气轴承最常见的排列之一是使用真空预载轴承(VPL),尤其是在预载困难或不可能的情况下。这些扁平圆形部件使用真空来预加载轴承。通过调节真空和压力,可以优化飞行高度和刚度。结果是只需要一个平面导向表面,而不是两个平行的平面导向表面,如对置轴承预加载。

3.使用新型气浮轴套进行直线运动

       当需要在轨道式系统上实现低摩擦系数和高运动控制分辨率时,您应该考虑使用气浮轴套。这些衬套的尺寸范围从 13 毫米到 75 毫米,英制尺寸从 ¼” 到 3.00”,允许安装通用轴尺寸。由于 0.4 毫米(16 英寸)表面光洁度的轴系普遍可用,因此可以轻松创建精确的单轴直线运动。

通过使用多孔介质材质,其中有数百万个亚微米孔,并施加 60PSI (0.4 MPA) 的气压,在衬套和轴之间形成 8 µm (0.0004") 空气层。轴套的设计使气流产生自定心力,从而在圆轴上实现真正的 360° 非接触运动。围绕两个平行轴连接两个轴套可产生沿一个轴的精确运动,并消除通常与滚子接触或循环滚珠直线导轨系统相关的热量和振动。这种布置提供了微分辨率定位,允许使用导轨安装平台以前无法实现的精密应用。

4.使用新方式气浮导轨组件的线性运动

       还提供四种不同类型的标准滑轨组件,它们结合了精确的导向面和准备安装的气动滑块。这为用户提供了集成导向和轴承系统的便利。借助我们的燕尾、端部支撑和箱形滑轨,以及我们的 T形气浮导轨的线性运动导轨系统,您一定会找到适合您特定线性运动应用的导轨。这些幻灯片具有运动直线度和动态响应通常比传统的滚动轴承好一个数量级。末端支撑气浮导轨轨、燕尾滑轨和箱形滑轨提供每 25 毫米行程250 纳米的局部直线度(在 X 和 Z 方向)和每 1000 毫米行程(每码 80 微英寸)的最大全局误差 2 微米)。如需直线运动应用的进一步帮助,请参阅新方式空气轴承应用和设计指南或联系我们的应用工程师,讨论您的特定需求。


二,应用场景:

1)光学检测设备

2)三坐标

3)激光加工设备

4)半导体【加工&检测】

5)。。。。等

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一,用于直线运动的新型气浮轴承

提供各种非常适合直线运动应用的气浮轴承。事实上,有很多方法可以使用我们的多孔介质技术来创建无摩擦的线性运动,包括:

  • 圆形气浮轴承

  • 方形气浮轴承

  • 气浮轴套

  • 气浮轴承线性组件

  • 真空预载气浮轴承

       我们的气浮轴承可以单独使用或组合使用,以轻松集成到您当前的流程中。在设计带有气浮轴承的解决方案时,必须注意创建一种能够根据应用需求正确约束运动的布置。由于空气轴承产生一个浮动体,该体必须在空间中受到限制,以便在所需的轴上运行。通常,可以在导向表面上加入一个特征,以将运动限制在所需的轴上。还可以利用许多其他排列和布置。您将在下面找到有关这些应用程序的更多具体信息。

1.采用新型圆形气浮轴承或方形气浮轴承的直线运动

        圆形气浮轴承和方形气浮轴常备有各种常见尺寸的库存,可进行任意数量的详细布置。由于 空气轴承易于集成到已建立的系统中,因此线性运动解决方案的制造成本通常远低于现成的组件。这些空气轴承易于调整,可以获得高速度和加速度,具有快速的稳定时间,以及卓越的飞行高度控制精度。这可以实现极其一致的运动和可重复性,可根据您的需要轻松配置。

        圆形气浮轴承和方形气浮轴承漂浮在 5 微米的空气层上,产生真正的非接触式运动,几乎为零摩擦。这就要求导向面的平面度大于轴承飞行高度的50%。这并不像看起来那么困难,因为许多常见应用涉及使用花岗岩板或花岗岩块,这些板或块可从供应商处轻松获得。其他可行的表面包括硬涂层铝、陶瓷、不锈钢,甚至玻璃。因为空气轴承是非接触式的,所以它们平均了任何表面偏差,进一步改善了线性运动。此外,由于摩擦为零,运动控制分辨率几乎是无限的,因为静摩擦系数为零。

我们的圆形气浮轴承最初设计用于坐标测量机,此后已用于各种应用,例如机器人航天器模拟和圆度检查器。

2.新型真空预载空气轴承的直线运动

       我们平面空气轴承最常见的排列之一是使用真空预载轴承(VPL),尤其是在预载困难或不可能的情况下。这些扁平圆形部件使用真空来预加载轴承。通过调节真空和压力,可以优化飞行高度和刚度。结果是只需要一个平面导向表面,而不是两个平行的平面导向表面,如对置轴承预加载。

3.使用新型气浮轴套进行直线运动

       当需要在轨道式系统上实现低摩擦系数和高运动控制分辨率时,您应该考虑使用气浮轴套。这些衬套的尺寸范围从 13 毫米到 75 毫米,英制尺寸从 ¼” 到 3.00”,允许安装通用轴尺寸。由于 0.4 毫米(16 英寸)表面光洁度的轴系普遍可用,因此可以轻松创建精确的单轴直线运动。

通过使用多孔介质材质,其中有数百万个亚微米孔,并施加 60PSI (0.4 MPA) 的气压,在衬套和轴之间形成 8 µm (0.0004") 空气层。轴套的设计使气流产生自定心力,从而在圆轴上实现真正的 360° 非接触运动。围绕两个平行轴连接两个轴套可产生沿一个轴的精确运动,并消除通常与滚子接触或循环滚珠直线导轨系统相关的热量和振动。这种布置提供了微分辨率定位,允许使用导轨安装平台以前无法实现的精密应用。

4.使用新方式气浮导轨组件的线性运动

       还提供四种不同类型的标准滑轨组件,它们结合了精确的导向面和准备安装的气动滑块。这为用户提供了集成导向和轴承系统的便利。借助我们的燕尾、端部支撑和箱形滑轨,以及我们的 T形气浮导轨的线性运动导轨系统,您一定会找到适合您特定线性运动应用的导轨。这些幻灯片具有运动直线度和动态响应通常比传统的滚动轴承好一个数量级。末端支撑气浮导轨轨、燕尾滑轨和箱形滑轨提供每 25 毫米行程250 纳米的局部直线度(在 X 和 Z 方向)和每 1000 毫米行程(每码 80 微英寸)的最大全局误差 2 微米)。如需直线运动应用的进一步帮助,请参阅新方式空气轴承应用和设计指南或联系我们的应用工程师,讨论您的特定需求。


二,应用场景:

1)光学检测设备

2)三坐标

3)激光加工设备

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